Keemiline koostis: tavaliselt valmistatud puhtast tsirkooniumist (Zr) või tsirkooniumisulamitest (nt tsirkooniumi-hafniumi sulam Zr-Hf sulam).
Struktuurne vorm: levinud vormid hõlmavad ümaraid ja ristkülikukujulisi sihtmärke.
Mõõtmete täpsus: nõuab suurt mõõtmete täpsust ja pinnaviimistlust.
Tihedus: Pihustamise ajal stabiilsuse ja kilekvaliteedi tagamiseks on vaja suurt tihedust.
Pinnakvaliteet: pind peab olema sile, pragudeta, ilma nähtavate pooride ja lisanditeta.
Tsirkooniumi sihttoote üksikasjade pildi kuvamine
zr metallist pihustatav sihtmärk
Tsirkooniumi pihustamise sihthind
