Puhtus: Molübdeeni sihtmärgi puhtus on selle jõudluse peamine näitaja. Üldiselt võib kõrge puhtusega molübdeeni sihtmärgi puhtus ulatuda 99,95% -ni või veelgi kõrgemale.
Tihedus: Molübdeeni teoreetilise tiheduse (10,22 g\/cm3) teoreetilise tiheduse lähedal on kvaliteetse molübdeeni sihtmärgi märk. Suurem tihedus näitab, et materjalil on vähem tühimikke ja struktuur on tihe, mis on ülioluline sihtmaterjali kasutussageduse ja stabiilsuse parandamiseks.
Soojusjuhtivus: molübdeeni soojusjuhtivus on umbes 138 mass\/m · k. Kõrge soojusjuhtivus on kiire kattekihi ajal sihtmärgi temperatuuri kontrollimiseks väga oluline, mis aitab vältida sihtmärgi ülekuumenemist ja struktuurilisi kahjustusi.
Soojuspaisumistegur: molübdeeni madal soojuspaisumistegur on umbes 4,8 × 10^-6 \/ kraad. See funktsioon tähendab, et molübdeeni sihtmärgil on temperatuurimuutustes hea mõõtme stabiilsus, mis aitab säilitada õhukese kile ladestumisprotsessi järjepidevust ja täpsust.
Kõvadus ja tugevus: Molybdenumi Vickersi kõvadus on umbes 2500 HV ja selle mehaaniline tugevus on kõrge. See võimaldab molübdeeni sihtmärgil vastu panna mehaanilist šokki kiire katte ajal.
Pinna tasasus ja karedus: pinna tasasus ja karedus on samuti olulised parameetrid molübdeeni sihtmärkide kvaliteedi hindamiseks. Hea pinnatöötlus võib vähendada osakeste tekkimist sihtmärgi kasutamise ajal ning parandada deponeeritud kile ühtlust ja kvaliteeti.
Molybdeeni sihtproovi pildi ekraan
